Các loại Silicon Nitride

Các loại Silicon Nitride
Vì các đặc tính của vật liệu phụ thuộc nhiều vào phương pháp chế tạo nên silicon nitrit không thể được coi là một vật liệu đơn lẻ. Ba loại silicon nitride chính là:

Silicon nitride liên kết phản ứng (RBSN)
Silicon nitrit ép nóng (HPSN)
Nitrua silic thiêu kết (SSN)
Silicon nitride liên kết phản ứng được tạo ra bằng cách nitrat hóa trực tiếp bột silicon đã nén và do khó đảm bảo phản ứng hoàn toàn nên khó đạt được mật độ thành phần cao. Mật độ thông thường nằm trong khoảng 2300 - 2700kg.m-3 so với 3200kg.m-3 đối với silicon nitride ép nóng và thiêu kết. Mật độ cao hơn mang lại cho vật liệu HPSN và SSN các đặc tính vật lý tốt hơn và có nghĩa là chúng được sử dụng trong các ứng dụng đòi hỏi khắt khe hơn. Quá trình nitrat hóa chỉ tạo ra một sự thay đổi nhỏ về thể tích, có nghĩa là các thành phần RBSN không cần phải gia công sau khi chế tạo và có thể tạo ra các hình dạng gần dạng lưới phức tạp trong một giai đoạn quy trình duy nhất.